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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）设备，以高产能PEALD设备主题技术为基础，针对相应薄膜沉积的特殊性，对反映腔？榧肮丶考优化设计，实现成本更低，纯度更高的薄膜的沉积。
- 梦想的热原子层沉积系统
- 更急剧的脉冲及吹扫，实现更高的产能
- 精准的化学源剂量节造，实现工艺持久不变性
- 怪异的温控设计，实现更高纯度的薄膜
- 守护轻便，易耗件性命周期长，洗濯成本低
